外 延 段：加热器、石墨盘、图形衬底、光致发光测试仪、烤盘炉；
黄 光 段：花篮、icp；
划片裂片：扩张环、蓝膜、白膜、劈刀、、受台、劈裂机；
研磨抛光：陶瓷盘、抛光布、研磨机、铜盘；
点测分选：铍铜针、合金针，吸嘴、顶针、点测机；
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本发明公开一种固晶机用多焊臂装置，该固晶机用多焊臂装置包括设有旋转电机的机架，在该旋转电机的转轴上设有焊臂连接座，该焊臂连接座四周分别设有焊臂，每个焊臂上设有一个使吸嘴支架上下滑动气缸，精密测试合金针，该吸嘴支架设有与气源连接的晶圆吸嘴，其中所述旋转电机和滑动气缸分别与控制模块控制连接。工作时，惠州铍铜弯针，旋转电机带动焊臂本体转动，再通过调节吸嘴支架与焊臂之间的位置，使晶圆吸嘴准确拾起晶圆。由于焊臂连接座四周均匀分部有四个晶圆吸嘴的焊臂本体。当一个晶圆吸嘴拾起晶圆后只需要转动90度，第二个晶圆吸嘴拾起第二个晶圆进行后续的工艺处理。由于其转动角度小，可以提高焊臂转动的时间，减少晶圆固晶封装的平均时间，提高半导体的封装效率。
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